【英文名】High purity oxygen

【纯度】99.999%

【执行标准】GB/T 14599-2008

【规格】40L无缝钢瓶

【用途】

主要用于半导体制造用等离子蚀刻、校正气、标准气、在线仪表标分准气、医疗气、光导纤维的制备。高纯氧是电子工业常用的气体之一，用于大规模和超大规模集成电路及半导体器件生产的氧化，如集成电路芯片生产中的氧化工艺，也用于化学气相沉积和扩散等离子蚀刻和等离子剥离，还用于光导纤维制备等。也适用于对氧气纯度要求较高的其它领域。

【注意事项】

不允许在高于60℃的温度下运输和贮存已充氧的容器。运输和贮存时要旋紧钢瓶瓶帽。氧应贮存在专门的地方，与可燃气体分开存放，并且不得靠近火源。在露天场地贮存时，应搭遮棚，以防雨雪和阳光曝晒。压缩氧气与油脂接触，温度超过油脂燃点时可发生自燃。充装氧气的容器，禁止用于充装其它气体。在装卸、运输和贮存钢瓶时，应采取措施以防钢瓶跌落、损坏和被油污染。操作者刚刚离开富氧环境后，不允许使用明火或走近火源.